全球薄膜计量系统市场在过去的几年中见证了显著的增长,因为在测量薄膜参数,如厚度,电阻率和应力的应用范围不断扩大。对半导体集成和小型化需求的增加是推动市场在预测期内的关键因素。在单个器件上添加功能的高级集成导致了集成电路的小型化,预计在预测期内,这将导致薄膜计量系统的需求激增。薄膜计量系统被广泛用于提高半导体制造过程的效率。由于电子行业对半导体器件的需求不断增加,预计未来7年该市场将出现利润丰厚的增长。此外,电子行业的强劲增长可能会补充预期期内的市场增长。这些系统在制造复杂的半导体集成电路中得到了应用。集成电路广泛的应用基础导致了3D、FinFET等复杂体系结构的引入。这将进一步推动薄膜计量系统的需求。然而,半导体行业的需求波动是关键挑战,预计这将限制未来七年的市场。
主要的薄膜缩型造型包括不透明薄膜,透明薄膜和其他薄膜。不透明的薄膜计量使用声波测量膜厚度。在声音感应和回声检测之间测量的时间直接提供薄膜的厚度。透明薄膜计量测量膜的厚度随着多个角度和波长的施加X射线。由于与其相关的精度和低维护成本,这种计量被广泛使用。
薄膜计量系统市场中使用的各种技术包括光谱反射率,椭圆形,轮廓测定和X射线分析。这些技术在生产复杂的半导体器件(如晶体管,先进的存储器芯片设备,主板等)中发挥了枢轴作用。薄膜计量系统广泛用于这些应用中以在生产过程中保持工艺均匀性。由于半导体制造过程中广泛的应用基础,电气和电子行业是2013年最大的薄膜计量系统最大的最终利用市场。预计该行业的技术进步将推动市场。由于在光谱仪,光源,反射探头,软件和其他电子配件中的薄膜计量系统的应用范围增加,因此市场预计将在未来七年中见证。由于在测量纳米材料的薄膜计量系统,如厚度,电阻率和应力,因此纳米技术是该市场的第二主要行业。
如Rudolph Technologies,KLA-Tencor和Nanometrics,如Rudolph Technologies,Kla-Tencor和Nanometrics,参与研发活动,在这个市场上开发更好的技术和产品。该市场的一些关键技术供应商包括日立高科技,新星测量仪器,屏幕控股和半织布。
“他们为我们所做的研究质量非常好……”